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帮助扫描电镜(SEM)利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜对二次电子、背散射电子的采集，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，可得到有关物质微观形貌的信息。扫描电镜有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调;有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;试样制备简单，不含水的样本可以不用固定。
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